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国际先进真空互联实验装置在江苏建立

发布时间:2023-02-20 14:27:02 所属栏目:业界 来源:网络
导读:   中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站二期项目通过总体验收,这为未来纳米材料研究及纳米器件制造提供了全新路径与可能。



  来自中国科学技术大学、中科
  中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米真空互联实验站二期项目通过总体验收,这为未来纳米材料研究及纳米器件制造提供了全新路径与可能。
 
  来自中国科学技术大学、中科院化学研究所、中科院苏州医工所、中国电子科技集团公司电子科学研究院、苏州大学5所高校、科研院所组成的7人专家组认为,经过两期建设,实验站已建成世界上规模最大、功能最齐全的真空互联综合实验装置,项目圆满完成了项目合同书规定的各项研发任务,达到合同规定的各项技术指标,整体水平达到国际先进。
 
  Nano-X是集材料原位生长、器件加工、测试分析为一体的材料领域重大综合科学装置,面向国家战略需求和科学前沿重大问题,开创了一条变革性的技术路线,将材料生长、器件工艺、测试分析通过超高真空管道有机互联在一起,突破常规超洁净环境下,独立分散设备难以实现的材料本征特性、原子级精准调控、表/界面调控和异质集成、器件原位制造等局限,为国家战略材料和前沿材料领域研究提供重要建制化、体系化支撑。目前, 已有近40台各种大型设备通过203米长的超高真空管道互联,建成了材料制备模块、微观机理准原位分析模块、跨尺度性能测试模块、气氛可控模块和真空互联控制与对接系统等五大模块平台,形成了全真空环境下的纳米材料和器件研究开发的综合实验系统。
 
  自2019年试运行起,实验站累计开展合作课题651个,服务用户数量220多家;服务机时80000多小时。在能源材料、低维材料、高温超导材料等领域形成了核心研发能力,产生了一批重要成果,初步建立了具有国际影响力的科技创新能力。

(编辑:厦门网)

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